本项目开发的直接驱动真空机械手产品主要有两大类:新型大气机械手系列产品、光刻机硅片传输的单臂和双臂机械手产品，以及用于刻蚀机、cvd(化学气相沉积)、pvd(物理气相沉积)和cmp(化学机械抛光)等成套设备的efem(设备前端)

国家重大科技项目“R&D与集成电路设备机械手及硅片传输系统系列产品产业化”通过验收

近日，沈阳宋新机器人自动化有限公司在沈阳顺利通过国家重大科技项目“R&D与ic设备机械手及硅片传输系统系列产品产业化”的技术和财务验收。本项目开发的直接驱动真空机械手产品、新型大气机械手系列化产品、用于光刻机晶圆传输的单臂和双臂机械手产品以及用于刻蚀机、cvd(化学气相沉积)、pvd(物理气相沉积)和cmp(化学机械抛光)等成套设备的efem(设备前端模块)系列化产品可以[/h/

本项目由沈阳宋新机器人自动化有限公司、上海交通大学、哈尔滨工业大学等国内著名大学通过产学研合作的方式共同承担。通过在真正的空(超洁净)环境下克服efem大间隙直接驱动电机和控制、多轴同轴直接驱动和真正的空隔离、高真空和高洁净环境下的精度，在北京北方微电子设备有限公司、沈阳新源微电子设备有限公司等企业得到了示范和应用，实现了ic设备机械手和系统设备的国产化。项目执行期间，各种机械手、efem等设备的累计销售收入为1.604227亿元。

该项目是中国集成电路领域朝着清洁材料自动传输方向的一次尝试和探索。本项目开发的具有自主知识产权的ic设备机械手和硅片传输系统不仅满足了国内企业的迫切需求，而且打破了国外ic设备企业在中国的垄断地位，降低了晶圆制造企业的生产成本，实现了半导体行业物料搬运和自动装载系统的国产化，从而促进了中国ic设备行业的发展，带动了整个设备制造产业链的发展。