电液比例阀是在传统开关阀的基础上发展起来的，针对伺服控制中存在的功率损耗大、液压过滤要求高、制造和维护成本高等问题，一般工业设备往往不需要它提供的快速响应。电液比例阀可以根据输入的电信号按比例控制工作油的压力、流量和方向。

在比例阀发展的初期，只有比例电磁铁用来代替普通液压阀的开关电磁铁或调节手柄，其工作带宽小，稳态迟滞大，只能在开环系统中使用。从20世纪70年代中期到80年代初，比例阀开始采用各种内部反馈原理，高压电阻、比例电磁铁和比例放大器技术日趋成熟。该阀的工作带宽达到5 ~ 10 Hz，稳态迟滞降低到3%左右。

自20世纪80年代以来，比例阀被设计成具有压力、流量和排量的内部反馈和电校正，这进一步提高了阀的稳态精度、动态响应和稳定性。控制性能接近伺服阀，只是在中间位置仍有一些死区。