光刻机是生产电子芯片最关键的设备之一，电子芯片中的电路图案都是由光刻机生产的。中国是世界上最大的集成电路消费国。据统计，世界上使用的集成电路占24%以上，但国内集成电路在国内市场的自给率不到10%。因此，光刻机被国家“十一五”规划明确定义为关键制造设备。据了解，合肥生产的直写光刻机分辨率已达到亚微米级，与目前世界同类产品相比，已达到世界领先水平，可用于半导体工业、生物、医药、光电子、太阳能电池、新能源和薄膜电路等不同领域。开发该产品的新硕半导体(中国)有限公司将进行大规模生产，项目一期将于明年9月正式完工。